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分子泵在使用中应注意的事项

作者:科佳电炉 来源:原创 发表时间:2019-09-02 14:34

分子泵主要应用于真空炉CVD设备和PECVD设备的抽真空,它的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同,利用了动量传递远离,使分子定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。
分子泵在使用中应注意以下事项:
1、分子泵不能在前级泵工作时(前级管道接通)和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉,否则将会使油蒸气迅速从前级管路返流到泵内;
2、分子泵系统充干燥气体前,一定要先将分子泵冷却水关闭,且要从泵的高真空端充气,绝不能从泵的前级管路进行充气;
3、分子泵工作时严禁大气量气体进入泵内,否则会导致分子泵损坏;
4、分子泵是高速旋转的精密设备,抗振动或冲击能力较弱,因此应避免与振动或冲击强烈设备接触;
5、不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转;
6、分子泵入口应装设防护网,以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片;
7、分子泵不宜长时间保持真空状态,防止前级泵油反扩散到分子泵内;
8、分子泵停止后,应关闭冷却水,以防止在泵内形成冷凝水。

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